연세대학교 전기전자공학부
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제목 윤일구 교수 연구팀 - 반도체 플라즈마 진단 기술 연구 IEEE Trans. Industrial Electronics에 논문 게재
작성자 최고관리자 작성일 2016-09-06 10:47 조회수 236
윤일구 교수와 김인중 박사과정생이 플라즈마 광학 진단 장치에 특수 렌즈를 장착하여, 실시간 공정 균일도가 측정 가능한 진단 기술을 Instruments and Instrumentaion 분야 최상위 논문지인 IEEE Transaction on Industrial Electronics 20169월호 (IF=6.383 [2015년 기준])에 발표하였다.
 
본 연구는 연세대학교 전기전자공학부 윤일구 교수와 박사과정 김인중 학생이 주도하고, 연구 결과는 삼성전자와 공등으로 국내 특허 출원을 완료, 현재 미국 해외 특허 출원이 진행 중이다.
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